二维过渡族金属硫化物电学及光子学研究进展

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专家视点

石墨烯的优异性能重新引起了人们对具有独特电学和光学特性的无机二维材料的兴趣。过渡族金属硫化物是一种层状材料,具有很强的面内结合和很弱的面外相互作用,可以剥离成单原子厚度的二维层。尽管过渡族金属硫化物的研究已有几十年的历史,但近年来在纳米材料表征和器件制备方面的进展为过渡族金属硫化物在纳米电子学和光电子学中的应用开辟了新的机遇。过渡族金属硫化物,如MoS2、MoSe2、WS2和WSe2具有相当大的带隙,这些带隙在单层中从间接变为直接,允许应用如晶体管,光电探测器和电致发光器件。在此,Wang等人综述了过渡族金属硫化物的发展历史、制备方法、电学和光学性质及器件并对未来电学和光电子学的发展进行了展望。该成果发表在Nature Nanotechnology上。



Qing-Hua Wang,  Kourosh Kalantar Zadeh, Andras Kis, Jonathan N. Coleman, and Michael S. Strano, Electronics and optoelectronics of two-dimensional transition metal dichalcogenides, Nature Nanotechnology, 7(11), 699-712 (2012).


      许多二维材料以块状形式存在,是一堆层间吸引力较弱的强结合层,允许剥落成单个原子薄层。今天最受关注的二维材料是石墨烯。石墨烯的电子能带结构在K点附近具有线性色散,电荷载流子可以描述为无质量的狄拉克费米介子,为科学家提供了丰富的新物理。石墨烯是一种非常薄的电导体和热导体的特例,具有高载流子迁移率和惊人的分子势垒特性。

      许多其他二维材料是已知的,例如过渡族金属硫化物、过渡族金属氧化物(包括二氧化钛和钙钛矿基氧化物)和石墨烯类似物(例如氮化硼)。特别是,过渡族金属硫化物显示出广泛的电学、光学、机械、化学和热性能,研究人员已经研究了几十年。目前,由于样品制备、光学检测、二维材料的转移和操纵以及二维材料的物理理解等方面的最新进展,科学和工程界对原子厚度、二维形式的过渡族金属硫化物的兴趣重新兴起。

      过渡族金属硫化物的二维剥落提供了与石墨烯互补但又不同的性质石墨烯显示出非常高的载流子迁移率,在2 K时的载流子迁移率超过10cm2V–1S–1,在室温下的载流子迁移率超过10cm2V–1s–1;然而,由于石墨烯缺乏带隙,由石墨烯制成的场效应晶体管能有效地关断并且开关比低。通过纳米结构、化学功能化和对双层石墨烯施加高电场,可以在石墨烯中设计带隙,但这些方法增加了复杂性,降低了迁移率。相比之下,一些二维过渡族金属硫化物具有相当大的1-2 eV带隙,有望成为新的场效应晶体管和光电器件。

      过渡族金属化物是一类公式为MX2的材料,其中,M是来自第IV族(Ti、Zr、Hf等)、第V族(例如V、Nb或Ta)或第VI族(Mo、W等)的过渡族金属元素,X是硫族元素(S、Se或Te)。这些材料形成X-M-X形式的层状结构,两个六角形平面中的硫原子被一个金属原子平面隔开,如图1a所示。相邻的层弱地结合在一起,形成各种多晶型的大块晶体,这些多晶型的堆叠顺序和金属原子配位不同,如图1e所示,过渡族金属化物的整体对称性为六角形或菱形,金属原子具有八面体或三角棱柱配位。过渡族金属化物的电子性质从金属到半导体不等,如表1所示。还有一些过渡族金属化物表现出奇特的行为,如电荷密度波和超导性。

        过渡族金属化物的层依赖特性最近引起了人们的广泛关注。例如,在几种半导体过渡族金属化物中,存在着从块体中的间接带隙到单层中的直接带隙的转变:对于MoS2,1.3 eV的体间接带隙以单层形式增加到1.8 eV的直接带隙。直接带隙还导致了单层MoS2的光致发光,这为许多光电应用开辟了可能性。MoS2的电子结构也能实现谷极化,这在双层MoS2中是不存在的。一般来说,二维材料中有许多有趣的依赖于层的性质,包括石墨烯和过渡族金属化物,它们与体材料的特性有很大的不同。


图1  过渡族金属硫化物材料的结构。a、典型MX2结构的三维示意图,硫原子(X)位于黄色和灰色的金属原子(M)。b、c,MoS2单层。光学显微镜图像(b)和原子力显微镜图像(c)。d、块体MoS2晶体的照片,大约1 cm长。e、结构多型图:2H(六角形对称,两层每个重复单元,三角棱柱坐标),3R(菱形对称,每个重复单元三层,三角棱柱坐标)和1T(四方对称,每个重复单元一层,八面体配位)。硫原子(X)为黄色,金属原子(M)为灰色。这个不同材料的晶格常数a在3.1到3.7Å之间。堆叠指数c表示每个堆叠顺序中的层数,以及层间距约为6.5Å。


表1  过渡族金属硫化物性能总结。每种材料的电子特性被列为金属、超导、半导体或电荷密度波。对于半导体材料,计算了单层和单层的带隙能,将列出批量表单。引用的参考文献表示为实验(E)或理论(T)结果。


01


合成



    

      可靠生产具有均匀特性的原子厚度二维过渡族金属化物对于将其新的电子和光学特性转化为应用至关重要。在这里,回顾一下现有的方法,自上而下剥离块体材料和自下而上的合成并评价其相对优点。


自上而下的方法


        使用与石墨烯相同的技术,过渡族金属硫化物的原子薄片可以通过使用胶带的微机械解理从其母体晶体中剥离,应用于衬底并通过光干涉进行光学识别。图1d中显示了MoS2的大块晶体,图1b,c中显示了源自微观机械解理的MoS2单层片。也可以通过该方法将其他层状材料(例如氮化硼和氧化物纳米片)机械剥离成单层。机械解理产生高纯度和清洁度的单晶片,适用于基本表征和单个器件的制造。然而,这种方法是不可伸缩的并且不允许系统地控制薄片的厚度和尺寸。近年来,人们利用聚焦激光光斑通过热烧蚀将MoS2薄膜厚度减薄到微米级,但由于激光光栅扫描的要求,使得放大成为一个挑战。


 液相法制备过渡族金属硫化物是一种很有前途的制备方法。它们允许通过简单混合不同材料的分散体、薄膜和聚合物来实现其他应用,如复合材料和混合物通过过滤、喷墨打印、喷涂和刮墨等方式进行涂层。由于基于溶液的石墨烯已被用于制造电流增益截止频率为2.2 GHz的高频柔性电子器件,因此,预计基于溶液的过渡族金属硫化物在制造柔性电子器件和复合材料方面也将具有类似的良好前景。


 离子物对过渡族金属化物的插层作用使层在液体中剥落。插层法最早在20世纪70年代被证实,随后出现了剥离。Morrison、Frindt及其同事在20世纪80年代将其剥离成薄层,这些方法在今天重新引起了人们的兴趣。上世纪70年代,锂对过渡金属二卤化物的插层作用得到了证实,而插层驱动的剥落作用最早是由Morrison、Frindt及其同事提出的。典型的步骤是将大块过渡族金属化物粉末浸入含锂化合物(如正丁基锂)的溶液中一天以上,以使锂离子插层,然后,将插层材料暴露于水。水与层间的锂发生剧烈反应,生成氢气,氢气迅速扩散分隔层。从锂基插层和剥离得到的溶液MoS2纳米片,如图2b所示。


图2 过渡族金属硫化物的合成方法。a、稳定的悬浮液层状材料从液相剥离在溶剂中(顶部),和薄从这些悬浮液的真空过滤得到的膜(底部)。b、嵌锂和剥离MoS2在水中的悬浮液(左)。高角度环形暗场扫描透射电子显微镜左面板悬浮物和MoS2(中间)图像沉积在SiO2上的MoS2的力显微镜图像(右)。白线是在红线位置拍摄的高度剖面。插图中间面板是高角度环形暗场扫描透射电子显微镜图像的放大视图,显示了MoS2的蜂窝状排列。绿色和黄色的点代表钼和硫。c、固体S和MoO3前体的MoS2化学气相沉积示意图(左)以及在SiO2上生成的MoS2薄膜(右)。红点表示炉中的加热元件。在这张光学显微镜图像中,较亮的区域是MoS2,较暗的区域是SiO2。d、从暴露于S蒸汽的SiO2上的Mo固体层化学气相沉积生长MoS2 (左上),产生光学显微镜可见的MoS2层(右)。左下:Si/SiO2衬底上MoS2层的侧视图示意图。e、衬底上浸涂前驱体化学气相沉积生长MoS2以及在氩气和硫蒸气存在下的生长。


这种化学剥落方法产生了克级的、亚微米大小的单层,但由此产生的剥落材料在结构和电子方面与大块材料不同。特别是对于MoS2来说,这个过程改变了电子结构。剥离后的纳米片结构由半导体转变为金属,Mo原子配位由三棱柱(2H-MoS2)转变为八面体(1T-MoS2)。退火温度300°C可引起1T-MoS2到2H-MoS2的相变,恢复Mo原子的配位并恢复原始材料的半导体带隙,带隙光致发光的重新出现证明了这一点。锂基化学反应已被证实用于过渡族金属化物,如MoS2、WS2、MoSe2和SnS2


 另一种更快、更可控的锂化方法是使用带有锂箔阳极和含过渡族金属硫化物阴极的电化学电池。由于插层发生在电化学电池中发生电流放电时,因此,可以监测和控制锂化程度受约束的。所得到的锂插层材料像以前一样在水中通过超声剥离,得到单层过渡族金属硫化物纳米片。该方法首先用于MoS2、WS2、TiS2、TaS2、ZrS2和石墨烯,然后,用于BN、NbSe2、WSe2、Sb2Se3和Bi2Te3。这种方法嵌锂只需要几个小时而正丁基锂法则需要一天多的时间。


 或者,可以在适当的液体(包括有机溶剂、水性表面活性剂溶液或溶剂中的聚合物溶液)中通过超声波剥离过渡族金属化物。一般来说,超声波作用导致层状晶体的机械剥落,形成几百纳米大小的薄片。剥落的纳米片通过溶剂化或由于分子从溶液中的吸附而产生的空间排斥或静电排斥来稳定防止再聚集。图2a显示了在有机溶剂中暴露的二维层状材料的溶液以及从溶液基材料过滤得到的薄膜。溶液中的分子可能通过非共价相互作用吸附在过渡族金属化物纳米片上,但还需要更多的工作来确定对电子性质是否有任何影响。


 剥落层状晶体所需的能量可以用表面能来量化,表面能是从晶体中除去一层的能量除以单层表面积的两倍。剥落研究和反相气相色谱的实验结果表明,BN、MoS2、WS2和MoSe2的表面能在65-75 mJm-2之间。这些数值与石墨烯的表面能相当,而石墨烯的表面能在65-120 mJ m-2的范围内进行了测量并且表明无机层状化合物可以像石墨一样容易剥离,甚至更容易剥离。


 离子剥离的主要优点是单层的产率高而电化学方法对锂插层的改进使该过程更快,更易于控制。但是锂化合物在环境条件下的易燃性要求在惰性气体下进行工作而且锂是一种越来越昂贵的资源,因此,有动力寻找替代的中间物。液体剥落对环境条件不敏感,但它产生的单层浓度相对较低。因此,对于需要蒙脱石的电子或光子应用,良好退火的离子剥离纳米片将是有用的;但是对于需要大量的复合材料等应用,可能首选液体剥离。纳米电子学,特别是光电电子学,很可能需要对纳米片的厚度和尺寸进行合理的控制。同样与石墨烯类似,新的层控化学和合成后按层厚和横向尺寸对薄片进行分类可能提供解决方案。


自下而上的方法


 开发大面积均匀薄膜的制备方法是电子器件晶圆级制造和柔性透明光电子等应用的重要步骤。正如先前对石墨烯所证明的,通过在金属衬底上的化学气相沉积和在SiC衬底上的外延生长的晶圆级合成方法的发展使得大规模的器件制造成为可能。


 最近报道了一些在绝缘衬底上生长MoS2原子薄膜的化学气相沉积方法。这些方法使用不同的加热到高温的固体前体:硫磺粉和MoO3粉蒸发并共沉积到附近的衬底上;在用固体硫磺加热的晶片上沉积一层薄薄的Mo金属;衬底浸涂在(NH4)2MoS4溶液中,在含硫气体存在下加热。这些化学气相沉积相关方法,如图2c-e所示。在许多方法中,最终的MoS2厚度取决于关于初始前驱体的浓度或厚度,尽管尚未实现对大面积上层数的精确控制。MoS2化学气相沉积生长也得到了证实使用先前在铜箔上化学气相沉积生长的石墨烯作为表面模板,得到横向尺寸为几微米的MoS2单晶片。这些化学气相沉积报告仍然是相对早期的结果,但有希望进一步的工作将导致除MoS2以外的材料的生长并生产具有可控层数的均匀大面积过渡族金属化物


      MoS2和MoSe2的化学制备也已通过水热合成(即,在高温高压釜中从水溶液中生长单晶)得到证实。最近,Matte等人描述了许多合成WS2、MoS2、WSe2和MoSe2的方法,包括钼酸或钨酸与硫脲或硒脲在高温下反应得到相应的层状过渡族金属硫化物材料。这种方法提供了质量相当好的材料,其典型的薄片尺寸为数百纳米到几微米,尽管薄片厚度并没有最终显示为单层。


02


电子结构




 许多过渡族金属硫化物的能带结构在其一般特征上相似,如第一性原理和紧束缚近似所示并使用各种光谱工具进行测量。一般来说,MoX2和WX2化合物是半导体而NbX2和TaX2是金属。根据第一性原理计算的体层和单层MoS2和WS2的能带结构,如图3a,b所示。在Γ点处,带隙跃迁对于体材料是间接的,但是对于单层则逐渐转变为直接的。K点的直接激子跃迁随层数的增加而保持相对不变。


图3  过渡族金属硫化物的电子性质和传输。a、 b,用第一性原理密度泛函理论计算了MoS2(a)和WS2(b)的能带结构。水平虚线表示费米能级。箭头表示基本带隙(直接或间接)。价带顶部(蓝色)和导带底部(绿色)突出显示。c, d,单层MoS2中载流子迁移率随温度(c)和载流子密度(d)的变化,根据第一性原理密度泛函理论计算电子能带结构、声子色散和电子-声子相互作用。在面板c中,灰色带显示了计算迁移率值的不确定性,因为与声子相关的计算变形势的不确定性为10%。e、计算和测量了多层MoS2中载流子迁移率随温度的变化,显示了带电杂质(红线)、单极性面外声子(绿线)和极性光学声子(蓝线)的散射贡献以及由于组合效应(虚线)而产生的总迁移率。


 能带结构随层数的变化是由于量子限制和S原子上的pz轨道与Mo原子上的d轨道杂化的结果。电子分布在空间上也与原子结构相关。对于MoS2,密度泛函理论计算表明,K点处的导带态主要是由于Mo原子上的局域d轨道,位于S-Mo-S层三明治的中间,相对不受层间耦合的影响;而Γ点附近的态是S原子上的反键pz轨道和Mo原子上的d轨道的结合,具有很强的层间耦合效应。因此,随着层数的变化,K点附近的直接激子态相对不变,但Γ点处的跃迁从间接跃迁到更大的直接跃迁。所有的MoX2和WX2都将经历类似的间接到直接的带隙转变减少层,覆盖带隙能量范围1.1-1.9 eV。表1总结了几种过渡族金属硫


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